Photolithographie

Les produits :

• Localisation des dépôts optiques et métalliques (Circuits, Résistances, Capteurs..)
• Mires de calibration
• Dépôts de polyimide (Applications spécifiques)

Capacité de traitement:

• Substrats de 2 à 8 pouces
• Résolution : quelques micromètres